Trench isolation having a self-adjusting surface seal and method for producing one such trench isolation

Isolement de tranchees a scellement en surface ajuste automatiquement

Grabenisolation mit selbstjustierender oberflächenversiegelung und verfahren zur herstellung einer solchen grabenisolation

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Grabenisolation mit einer selbstjustierenden Oberflächenversiegelung und einem Herstellungsverfahren für diese Oberflächenversiegelung. Die Oberflächenversiegelung kann dabei einen Überlappungsbereich der Substratoberfläche bzw. einen zurückgebildeten Bereich, in den sich eine auf der Substratoberfläche ausgebildete elektrisch leitende Schicht erstreckt, aufweisen.
L'invention concerne un isolement de tranchées à scellement en surface ajusté automatiquement, ainsi qu'un procédé d'obtention de ce scellement en surface. Le scellement en surface peut présenter une zone de recouvrement de la surface du substrat ou une zone reconstituée, dans laquelle s'étend une couche électroconductrice formée à la surface du substrat.
The invention relates to a trench isolation comprising a self-adjusting surface seal, and to a method for producing said surface seal. The surface seal can comprise an overlapping region of the substrate surface or a reconstituted region in which an electroconductive layer extends, said layer being formed on the substrate surface.

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Patent Citations (6)

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    Title
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