半導体装置

Semiconductor device

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a capacity per unit area of a capacitative element.SOLUTION: A plurality of first electrodes 110 are separated from each other. A second electrode 120 is positioned in a first wiring layer 102 where the plurality of the first electrodes 110 are positioned. As shown in the figure 3, the plurality of the first electrodes 110 are disposed so that each center overlaps with each vertex and a center of a first hexagon, and the second electrode 120 faces a whole circumference of each of the multiple first electrodes 110. Positions of the six vertices of the first hexagon are determined by disposing two identically-shaped isosceles triangles so that their bases face each other.
【課題】容量素子の単位面積当たりの容量を増加させる。 【解決手段】複数の第1電極110は互いに離間している。第2電極120は複数の第1電極110と同一の第1配線層102に位置している。図3に示すように複数の第1電極110は、第1の六角形の各頂点及び中心に、それぞれの中心が重なるように配置されており、第2電極120は、複数の第1電極110それぞれの全周に対向している。第1の六角形は、同一形状の2つの二等辺三角形を、底辺が互いに対向する向きに配置することにより、6つの頂点の位置が定められている。 【選択図】図1

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    JP-2015514315-AMay 18, 2015カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー, カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー細長体を有する導電性素子のアレイを具えるマイクロ・ナノスケールキャパシタ